리소그래피
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작성일 19-05-30 04:48
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반도체를 만들때 중요한것이, 회로를 설계하는것과, 설계된 회로를 구현하는것 입니다.
1. Nano Paterning
일단 반도체쪽에서 나노기술을 공부하시려면 가장 관련이 많은 분야가 나노패터닝 입니다.
얼마나 회로를 작고 정확하게 그려낼수 있는가 하는것이 반도체의 성능과 직결되는 인인데,
이러한 패터…(투비컨티뉴드 )
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설명
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집적 회로 제작 시 실리콘칩 표면에 만들고자 하는 패턴을 빛으로 촬영한 수지를 칩 표면에 고정한 후 화학 처리나 확산 처리하는 기술. 이 기술의 the gist은 짧은 파장의 빛을 사용하여 정밀도를 높이는 것으로, 처음에는 가시광선, 자외선을 사용했으나 최근에는 전자 빔을 사용해 더 미세한 패턴을 만든다.
